[发明专利]一种SOIMOSFET器件的建模方法有效
申请号: | 201510303560.9 | 申请日: | 2015-06-04 |
公开(公告)号: | CN104951599B | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 卜建辉;罗家俊;韩郑生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人: | 朱海波 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种SOI MOSFET器件的建模方法,包括:a)建立总体模型,该总体模型包括所述初级器件模型、模拟源体PN结的第一模型和模拟漏体PN结的第二模型;其中,所述初级器件模型中的器件为模拟源漏注入到底的SOI MOSFET;b)对初级器件模型进行参数提取;c)对第一、第二模型分别进行参数提取。本发明提供的建模方法考虑源漏注入不到底的SOI MOSFET器件中源体结以及漏体结电容对于器件性能的影响,提高了模型的精确度,能够有效的运用于对器件的仿真设计。 | ||
搜索关键词: | 一种 soimosfet 器件 建模 方法 | ||
【主权项】:
1.一种SOI MOSFET器件的建模方法,包括:a)建立总体模型,该总体模型包括初级器件模型、模拟源体PN结的第一模型和模拟漏体PN结的第二模型;其中,所述初级器件模型中的器件为模拟源漏注入到底的SOI MOSFET;b)对初级器件模型进行参数提取;c)对第一、第二模型分别进行参数提取;其中,所述初级器件模型为BSIMSOI模型,且通过BSIMSOI模型拟合PN结直流特性;第一、第二模型为SPICE中的PN结电容模型,且该模型中与直流相关的参数is,jsw,rs设置为0。
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