[发明专利]光学式内面测量装置

摘要

在使探头进入到被测量物的内周面或深孔内径中、用来将由内面反射的光线立体地取入而观察及测量精度的光学式内面测量装置中，能够进行更高精度的测量。在具备内置在管中的光纤、配置在该光纤的前端侧的光路变换机构和使该光路变换机构旋转驱动的马达的构造中，具有测量马达的旋转轴部的振动量的机构。通过用位移测量机构的位移量数据修正由计算机计算来自被检查物的反射光得到的被检查物的内周面的形状数据，消除马达的旋转轴的振动或旋转振动带来的测量误差，能够进行高精度的测量。

主权项

1.一种光学式内面测量装置，使用干涉光学法进行被检对象物的观察及测量，其特征在于，该光学式内面测量装置具备：光纤，内置在管中；光路变换机构，配置在上述光纤的前端侧；马达，使上述光纤和上述光路变换机构的一方或双方旋转驱动；以及位移检测机构，测量上述马达的旋转轴部的振动量，上述马达包括第1马达和配置在上述第1马达的后方侧的第2马达；上述光路变换机构包括通过上述第1马达动作的第1光路变换机构和通过上述第2马达动作的第2光路变换机构；上述光纤由在上述第2马达的后方侧经由固定工具以不能旋转的方式配置在上述管内的固定侧光纤、和与上述第1马达或上述第2马达的上述旋转轴部一体旋转的旋转侧光纤构成；上述第1马达及上述第2马达的上述旋转轴部分别呈中空形状；上述旋转侧光纤的前端侧的至少一部分插通在上述第1马达的旋转轴部的中空孔中，并且后方侧的至少一部分固定在上述第2马达的旋转轴部的中空孔中；上述第1光路变换机构在上述第2光路变换机构的前端侧配置为能够与上述第1马达的旋转轴部一体旋转；上述第2光路变换机构装备在上述旋转侧光纤的前端。