[发明专利]分光测量装置

摘要

本发明的分光测量装置具备：分割光学系统，其将从位于被测量物的测量区域内的多个测量点分别发出的测量光束分割为第一测量光束和第二测量光束；成像光学系统，其使第一测量光束与第二测量光束发生干涉；光程差赋予单元，其对第一测量光束和第二测量光束之间赋予连续的光程差分布；检测部，其包括用于检测与上述连续的光程差分布对应的干涉光的强度分布的多个像素；处理部，其基于由检测部检测出的干涉光的光强度分布来求出被测量物的测量点的干涉图，通过对该干涉图进行傅立叶变换来获取光谱；共轭面成像光学系统，其配置在被测量物与分割光学系统之间，具有与该分割光学系统共用的共轭面；以及周期性赋予单元，其配置于共轭面，对从多个测量点发出的测量光束进行空间上的周期调制。 1

主权项

1.一种分光测量装置，其特征在于，具备：

a)透射型的光学构件，其包括第一透射部和楔形的第二透射部，其中，该第一透射部的入射面与出射面平行，该第二透射部的入射面和出射面中的某一方与上述第一透射部的入射面或者出射面处于同一面上，该第二透射部的入射面和出射面中的一方相对于另一方倾斜；

b)物镜，其使从位于被测量物的测量区域内的多个测量点分别发出的测量光束成为平行光线，并入射到上述第一透射部和上述第二透射部；

c)柱面透镜，其被入射透过上述第一透射部的第一测量光束和透过上述第二透射部的第二测量光束，具有平行于上述第一透射部和上述第二透射部的分界面与上述第一透射部的入射面的交线的轴；

d)检测部，其对入射到上述柱面透镜的上述第一测量光束和上述第二测量光束的干涉光的强度分布进行检测；以及

e)处理部，其基于由上述检测部检测出的上述干涉光的强度分布来求出上述被测量物的测量点的干涉图，通过对该干涉图进行傅立叶变换来获取光谱。

2.根据权利要求1所述的分光测量装置，其特征在于，

还具备筒状壳体，该筒状壳体将上述物镜、上述光学构件、上述柱面透镜以及上述检测部以排成一列的状态收容，在上述物镜侧的端部具有用于取入从上述被测量物的测量点发出的测量光束的窗部。

3.根据权利要求2所述的分光测量装置，其特征在于，

还具备内部壳体，该内部壳体旋转自如地配置在上述筒状壳体内，收容上述光学构件和上述柱面透镜。

4.根据权利要求3所述的分光测量装置，其特征在于，

还具备使上述内部壳体旋转的驱动单元。

5.根据权利要求2～4中的任一项所述的分光测量装置，其特征在于，

上述物镜以能够沿光轴方向移动的方式安装在上述筒状壳体内。