[发明专利]一种横向剪切干涉仪

摘要

本发明公开了一种横向剪切干涉仪，包括两块相同的半立方屋脊棱镜；半立方屋脊棱镜包括棱镜一和棱镜二；棱镜一为屋脊棱镜，屋脊棱镜包括两个直角面和一个斜面，两个直角面为屋脊面；棱镜二为直角棱镜，直角棱镜包括直角面一和直角面二；所述棱镜一的斜面设置在直角面一上，棱镜二的斜面为分束面，一个半立方屋脊棱镜的直角面二为入射面，另一个半立方屋脊棱镜的直角面二为出射面；本发明具有交互垂直的主截面，其胶合过程对齐方向和横向剪切方向不在一个平面内，产生的残留对齐误差不会带来剪切量的误差，因而可方便准确地实现干涉仪的胶合与剪切量的调整。

主权项

横向剪切干涉仪，其特征在于：包括两块相同的半立方屋脊棱镜；半立方屋脊棱镜包括棱镜一和棱镜二；棱镜一为屋脊棱镜，屋脊棱镜包括两个直角面和一个斜面，两个直角面为屋脊面；棱镜二为直角棱镜，直角棱镜包括直角面一和直角面二；所述棱镜一的斜面设置在直角面一上，棱镜二的斜面为分束面，一个半立方屋脊棱镜的直角面二为入射面，另一个半立方屋脊棱镜的直角面二为出射面；两块半立方屋脊棱镜沿分束面胶合，相应的两块半立方屋脊棱镜的棱镜一的斜面垂直；其中一块半立方屋脊棱镜相对应另一块半立方屋脊棱镜沿垂直于屋脊棱并平行于分束面的方向存在错位；两块半立方屋脊棱镜分别为第一棱镜和第二棱镜，当入射光由第一棱镜中棱镜二的直角面二入射至分束面时，入射光的一部分经分束面反射形成反射光、另一部分经分束面透射形成透射光；反射光入射至第一棱镜中棱镜一的屋脊面，再被这个棱镜一的屋脊面反射至分束面后，由第二棱镜的直角面二出射；透射光入射至第二棱镜中棱镜一的屋脊面，再被这个棱镜一的屋脊面反射至分束面后，由第二棱镜的直角面二出射。