[发明专利]一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道

摘要

本发明创造提供包括炉内缩放管和炉外缩放管，炉内缩放管包括气体进入段、收缩段和气体排出段，气体进入段为呈喇叭状扩口，收缩段和气体排出段均为直通管，收缩段的直通管管径小于气体排出段的直通管管径，炉外缩放管与气体排出段相连，炉外缩放管为管体外径等径的通管，炉外缩放管的管体内壁面设有凸缘和凹缘。本发明创造可加快氩气及炉内挥发物的混合气体排出炉内的速度，缩短挥发物在炉内及管道口的停留时间，减少挥发物在炉膛排气管口的聚集与沉积；可使管内气体由层流变为湍流，提高管道内挥发物温度，有利于降低挥发物在管道内的沉积，可有效改善排气效率、降低由排气管道堵塞引起的熔体液面抖动的概率，进而改善成晶。

主权项

一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道，其特征在于：包括炉内缩放管和炉外缩放管，所述炉内缩放管包括依次连接的气体进入段、收缩段和气体排出段，所述气体进入段为呈喇叭状的扩口，所述收缩段和所述气体排出段均为直通管，且所述收缩段的直通管管径小于所述气体排出段的直通管管径，所述炉外缩放管与所述气体排出段相连，所述炉外缩放管为管体外径等径的通管，所述炉外缩放管的管体内壁面设有数个凸缘和凹缘，各凸缘和凹缘交替连接而形成波浪状起伏。