[发明专利]影像感测器及其制作方法

摘要

本发明公开一种影像感测器及其制作方法。该影像感测器的制作方法为，提供基底，基底包括像素阵列区。在像素阵列区的基底中形成多个开口。在各开口周围的基底中形成导光区，其中导光区与开口之间配置有基底，导光区于基底中的深度大于其所环绕的开口于基底中的深度。在开口中形成隔离结构，以于像素阵列区中定义出分别位于两相邻隔离结构之间的多个像素区。在各像素区的基底中形成光感测区。在各像素区的基底上形成导线层。

主权项

1.一种影像感测器的制作方法，包括：提供一基底，该基底包括一像素阵列区；在该像素阵列区的该基底中形成多个开口；通过注入制作工艺在各该开口周围的该基底中形成一导光区，其中该导光区与该开口之间配置有该基底，各该导光区于该基底中的深度大于其所环绕的该开口于该基底中的深度；在该些开口中形成多个隔离结构，以于该像素阵列区中定义出分别位于两相邻隔离结构之间的多个像素区；在各该像素区的该基底中形成一光感测区；以及在各该像素区的该基底上形成一导线层。