[发明专利]一种固态绝缘介质脉冲功率开关及其制备方法有效
| 申请号： | 201510308558.0 | 申请日： | 2015-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN104966712B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 王艳;孙云娜;丁桂甫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L25/00 | 分类号： | H01L25/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 徐红银,郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种固态绝缘介质脉冲功率开关及其制备方法，包括固态绝缘介质层，辅助气固击穿结构，气体绝缘孔隙，顶电极。辅助气固击穿结构位于固态绝缘介质层上表面，首先与上方顶电极之间通过气体绝缘孔隙实现绝缘。其次与顶电极，气体绝缘孔隙一起构成低电压触发回路。镂空式辅助气固击穿结构采用镂空式金属结构，该结构使部分固态绝缘介质直接裸露在气体绝缘孔隙中，气体绝缘孔隙中形成的高热量气体能够快速高效的到达下方固态绝缘介质层表面并使之击穿。本发明解决了微型化脉冲功率开关辅助气固击穿结构结构复杂和工艺可行性差等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固态 绝缘 介质 脉冲 功率 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种固态绝缘介质脉冲功率开关，其特征在于，包括：固态绝缘介质层、辅助气固击穿结构、气体绝缘孔隙和顶电极；所述辅助气固击穿结构位于固态绝缘介质层上表面，与上方顶电极之间通过气体绝缘孔隙实现绝缘，所述辅助气固击穿结构采用镂空式金属结构，使部分固态绝缘介质直接裸露在气体绝缘孔隙中。
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