[发明专利]双层电极式固体电解质CO2气体传感器及制备工艺

摘要

本发明公开了一种双层电极式固体电解质CO2气体传感器及制备工艺，所述传感器自下而上包括RuO2加热测温元件，Al2O3基底，下层金薄膜电极，固体电解质薄膜层，上层金薄膜电极，反应电极，制备工艺包括在Al2O3陶瓷基底上通过丝网印刷的方法制作RuO2加热测温元件，在Al2O3陶瓷基底的另一面通过微机电加工工艺沉积Au金属电极，Li3PO4固体电解质层，并在电解质层和电极的上方印刷反应电极Li2CO3，最终形成固体电解质CO2气敏元件。传感器的Au薄膜电极分为上下两层，在竖直方向上排列，减小了传感器的体积和传感器的散热面积，降低了传感器的功耗。

主权项

一种双层电极式固体电解质CO2气体传感器，其特征在于，包括Al2O3基底，该Al2O3基底的反面设有作为加热温控元件的RuO2厚膜层，Al2O3基底正面设有采用磁控溅射所制备的下Au薄膜电极层，该下Au薄膜电极层上面覆盖Li3PO4固体电解质层，Li3PO4固体电解质层上面设有上Au薄膜电极层，上Au薄膜电极层上面覆盖有Li2CO3反应电极层；所述下Au薄膜电极层为方形或梳状，上Au薄膜电极层为梳状。