[发明专利]具有高度耐划伤性的光学元件

摘要

本发明的目的是改善硬质抗反射涂层的耐刮伤强度。对此提供一种光学元件(1)，其具有在可见光谱范围中透明的衬底(10)，以及在该衬底(10)上沉积的具有多层的抗反射涂层(2)，该抗反射涂层交替地包括具有第一折射率的层和具有第二、较高折射率的层，其中具有较高折射率的层包含氮化物或氮氧化物，并且具有第一折射率的层包含硅的氧化物和至少一种其他元素，其中在具有第一折射率的层中硅的摩尔分数超过一种或多种其他元素的摩尔分数，并且多层抗反射涂层的最上层是具有第一折射率的层，并且其中在抗反射涂层上布置有链式的含氟有机分子层(3)，其中该分子在端侧结合到光学元件的表面上。

主权项

一种具有高度耐划伤性的光学元件(1)，其具有在可见光谱范围中透明的衬底(10)以及在所述衬底(10)上沉积的多层抗反射涂层(2)，所述多层抗反射涂层包括具有第一折射率的层和具有第二、较高折射率的层的交替层，其中具有较高折射率的层包含氮化物或氮氧化物，并且具有第一折射率的层包含硅和至少一种其他元素的氧化物，并且其中在具有第一折射率的层中，与其他元素的摩尔分数相比，硅的摩尔分数占主导，并且其中所述多层抗反射涂层的最上层是具有第一折射率的层，并且其中在所述多层抗反射涂层上布置有链式的含氟有机分子层(3)，其中分子在端侧结合到所述光学元件的表面上，优选结合到所述多层抗反射涂层(2)的最上层(27)上。