[发明专利]一种光刻版图OPC方法

摘要

本发明提供一种光刻版图OPC方法，通过网格采样的方式提取了光刻版图的轮廓，同时使用网格对光刻版图的轮廓线进行分段，并利用采样网格的多个格点的向量提取了每段轮廓线段的修正参考点向量，由此提高了提取光刻版图的特征向量时的准确性，优化了后续OPC过程的初始值，减小了图像特征提取误差对OPC掩膜版准确性的影响，提高了光刻版图OPC效率，使得最终在硅片上形成的图像失真更小。

主权项

1.一种光刻版图OPC方法，其特征在于，包括：建立覆盖待OPC的光刻版图的整个区域的采样网格，所述采样网格的格点间隔根据光刻版图的工艺设计规则定义；对所述光刻版图进行格点处卷积，获得所述光刻版图的边缘轮廓图像，每个格点处的卷积范围覆盖以格点为中心的对称区域，且进行格点处卷积时，选取中心轴对称的二维函数做卷积核；建立直角坐标系，生成每个格点在所述直角坐标系中的向量；以采样网格对所述边缘轮廓图像的轮廓线进行分段，并根据与每段轮廓线段相邻的多个格点的向量生成每段轮廓线段的修正参考点向量；以所述每段轮廓线段的修正参考点向量为参考依据，对所述边缘轮廓图像进行基于规则的OPC处理和/或基于模型的OPC处理，获得OPC版图。