[发明专利]颗粒物缺陷的监控方法

摘要

在本发明提供的颗粒物缺陷的监控方法中，通过在光片上形成光阻以检出颗粒物造成的表面刮伤，使得颗粒物缺陷的监控更加全面，而且根据颗粒物缺陷的数据统计，直接在工艺设备中设置颗粒物缺陷的监控范围，降低了由颗粒物缺陷引起的产品不良风险，所述监控方法非常简单有效，能够提高成品率。

主权项

一种颗粒物缺陷的监控方法，其特征在于，包括：提供一光片；在所述光片上涂布光阻，以形成监控晶片；对所述监控晶片进行第一次颗粒物检测，以获取第一数据；根据所述第一数据判断所述监控晶片可否符合使用要求；将符合使用要求的监控晶片放入一工艺设备中并仿真工艺状态；对仿真工艺状态后的监控晶片进行第二次颗粒物检测，以获取第二数据；将所述第一数据与第二数据进行比对，以获得所述工艺设备的颗粒物缺陷的数据；以及对所述工艺设备的颗粒物缺陷的数据进行统计，并根据统计结果在所述工艺设备中设置所述颗粒物缺陷的监控范围。