[发明专利]一种自动加液的蚀刻槽在审
| 申请号： | 201510311260.5 | 申请日： | 2015-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN104846374A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种自动加液的蚀刻槽，它包括蚀刻槽（1）、蚀刻辅助槽（2）、检测装置（3）和蚀刻泵（4），蚀刻槽（1）安装有蚀刻剂管（5），蚀刻剂管（5）的入口与蚀刻泵（4）连接，蚀刻剂管（5）的出口位于蚀刻槽（1）内，蚀刻泵（4）与蚀刻辅助槽（2）连接，检测装置（3）与蚀刻槽（1）的底部连通，检测装置（3）内设置有比重计（31）和探头（32），比重计（31）位于探头（32）的下部，蚀刻槽（1）的侧壁上设置有一控制器（6），蚀刻泵（4）和探头（32）与控制器（6）电连接。本发明的有益效果是：它具有结构简单、降低劳动强度和降低人力成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种自动加液的蚀刻槽，其特征在于：它包括蚀刻槽（1）、蚀刻辅助槽（2）、检测装置（3）和蚀刻泵（4），所述的蚀刻槽（1）安装有蚀刻剂管（5），蚀刻剂管（5）的入口与蚀刻泵（4）连接，蚀刻剂管（5）的出口位于蚀刻槽（1）内，所述的蚀刻泵（4）与蚀刻辅助槽（2）连接，所述的检测装置（3）与蚀刻槽（1）的底部连通，检测装置（3）内设置有比重计（31）和探头（32），比重计（31）位于探头（32）的下部，所述的蚀刻槽（1）的侧壁上设置有一控制器（6），蚀刻泵（4）和探头（32）与控制器（6）电连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都虹华环保科技股份有限公司，未经成都虹华环保科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510311260.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种镉镀层的退除方法
- 下一篇：一种基于激光熔覆的铝合金耐蚀二维码标刻方法
