[发明专利]一种全自动蚀刻装置在审
| 申请号： | 201510311379.2 | 申请日： | 2015-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN104831279A | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请（专利权）人： | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人： | 袁英 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全自动蚀刻装置，它包括蚀刻槽（1）、抓取机构、横杆（8）、支架（9）和控制箱（10），抓取机构包括机械手控制器（11）、机械臂（12）和机械手（13），机械手控制器（11）和机械臂（12）活动连接，机械手控制器（11）活动安装在横杆（8）上，蚀刻槽（1）上安装有蚀刻剂管（5）和检测装置（3），蚀刻剂管（5）的入口连接有蚀刻泵（4），蚀刻剂管（5）的出口位于蚀刻槽（1）内，蚀刻泵（4）连接有一蚀刻辅助槽（2），检测装置（3）内设置有比重计（31）和探头（32），蚀刻槽（1）的侧壁上设置有一控制器（6）。本发明的有益效果是：具有自动化程度高、蚀刻质量好的劳动强度低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
一种全自动蚀刻装置，其特征在于：它包括蚀刻槽（1）、抓取机构、横杆（8）、支架（9）和控制箱（10），所述的抓取机构包括机械手控制器（11）、机械臂（12）和机械手（13），所述的机械手控制器（11）和机械臂（12）活动连接，机械手控制器（11）与机械手（13）之间连接有导线，机械手控制器（11）活动安装在横杆（8）上，所述的横杆（8）安装在支架（9）上，所述的控制箱（10）和机械手控制器（11）连接，所述的蚀刻槽（1）上安装有蚀刻剂管（5）和检测装置（3），蚀刻剂管（5）的入口连接有一蚀刻泵（4），蚀刻剂管（5）的出口位于蚀刻槽（1）内，所述的蚀刻泵（4）连接有一蚀刻辅助槽（2），所述的检测装置（3）与蚀刻槽（1）的底部连通，检测装置（3）内设置有比重计（31）和探头（32），比重计（31）位于探头（32）的下部，所述的蚀刻槽（1）的侧壁上设置有一控制器（6），蚀刻泵（4）和探头（32）与控制器（6）电连接。
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