[发明专利]一种新型光臂放大式高精度长度传感器及测量方法有效
申请号: | 201510312068.8 | 申请日: | 2015-06-09 |
公开(公告)号: | CN104897064B | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 张白;丁子兮 | 申请(专利权)人: | 张白 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 王芸;韩洋 |
地址: | 100124 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型光臂放大式高精度长度传感器及测量方法,该长度传感器包括:激光束一、激光束二;反射部件,反射部件上设有用于反射所述激光束一、激光束二的若干个反射面,每个反射面截面为凸起形状,所有反射面首尾相连构成反射面阵列;光电探测器一用于接收激光束一在反射部件上反射后的激光束并显示其反射位置;光电探测器二用于接收激光束二在反射部件上反射后的激光束并显示其反射位置;处理系统根据光电探测器一接收到的激光束一的位置变化值和光电探测器二所接收到的激光束二的位置变化值,处理得到被测物体位移量。该新型光臂放大式高精度长度传感器结构简单,适用于被测物体位移连续变化的测量,可靠性好,精度高,易于批量制造。 | ||
搜索关键词: | 激光束 长度传感器 光电探测器 反射部件 反射面 放大式 光臂 反射 被测物体 反射位置 位置变化 测量 处理系统 批量制造 首尾相连 凸起形状 位移量 | ||
【主权项】:
1.一种新型光臂放大式高精度长度传感器,其特征在于,包括:激光束一(3)、激光束二(4);反射部件(8),所述反射部件(8)上设有用于反射所述激光束一(3)、激光束二(4)的若干个反射面(9),每个所述反射面(9)截面为凸起形状,所有所述反射面(9)首尾相连;光电探测器一(6),用于接收所述激光束一(3)在所述反射部件(8)中的反射面(9)反射后的激光束并显示其反射位置;光电探测器二(7),用于接收所述激光束二(4)在所述反射部件(8)中的反射面(9)反射后的激光束并显示其反射位置;处理系统,根据所述光电探测器一(6)上所接收到的激光束一(3)反射位置变化值和所述光电探测器二(7)上所接收到的激光束二(4)反射位置变化值,处理得到被测物体的位移变化值;所述激光源一(1)和激光源二(2)的间距可调,所述光电探测器一(6)与所述光电探测器二(7)的间距可调,所述激光源一(1)发射的激光束一(3)、所述激光源二(2)发射的激光束二(4)相对读数头收发端面(51)的出射角度均可调。
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