[发明专利]一种交叉指状Y轴磁电阻传感器

摘要

一种交叉指状Y轴磁电阻传感器，包括衬底、位于衬底上的第一梳状软磁通量引导器、第二梳状软磁通量引导器、推挽式磁电阻传感单元电桥，还可包括校准和/或重置线圈，第一、第二梳状软磁通量引导器形成交叉指状，第二梳齿和相邻的两个第一梳齿间形成第一间隙和第二间隙，且第二梳齿与第一梳座间、第一梳齿与第二梳座间分别形成间隙，推磁电阻单元串和挽磁电阻单元串交替位于第一间隙和第二间隙内,且磁电阻传感单元为X磁场敏感方向，校准线圈包括平行于磁电阻传感单元串的校准直导线，重置线圈分别垂直于磁电阻传感单元串的重置直导线，本发明通过交叉梳状软磁通量引导器，实现了对Y轴磁场测量，具有简单、高增益和低功耗特点。

主权项

一种交叉指状Y轴磁电阻传感器，其特征在于，包括衬底、位于衬底之上的第一梳状软磁通量集中器、第二梳状软磁通量集中器及推挽式磁电阻传感单元电桥；所述第一梳状软磁通量集中器的第一梳齿和第一梳座和所述第二梳状软磁通量集中器的第二梳齿和第二梳座均为矩形，所述第一梳齿和所述第二梳齿长轴和短轴分别平行于Y轴和X轴，所述第一梳座和第二梳座长轴和短轴分别平行于X轴和Y轴；所述第一梳状软磁通量集中器和所述第二梳状软磁通量集中器之间形成交叉指状结构，相邻所述第一梳齿和所述第二梳齿之间依次交替形成第一间隙和第二间隙，且所述第二梳齿与所述第一梳座之间、所述第一梳齿与所述第二梳座之间也形成间隙；所述推挽式磁电阻传感单元电桥包括推、挽磁电阻传感单元串，所述推、挽磁电阻传感单元串均包括多个串联和/或并联的磁电阻传感单元，且平行于Y轴方向，并交替位于所述第一间隙和第二间隙内,所述推、挽磁电阻传感单元串分别电连接成推臂和挽臂，所述推臂和挽臂包含的所述磁电阻传感单元串数量相同，且所述推臂和挽臂电连接成推挽式磁电阻传感单元电桥，所述磁电阻传感单元具有X向磁场敏感方向；其中, 所述第一梳状软磁通量集中器、所述第二梳状软磁通量集中器为包含Fe,Ni,Co元素中的一种或多种的合金软磁材料；所述推挽式磁电阻传感单元电桥为半桥、全桥或者准桥。