[发明专利]电阻应变片及电阻应变式传感器有效
| 申请号： | 201510312473.X | 申请日： | 2015-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN104880206B | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 于喆;于玫;杨灿灿;张隼 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院;深圳三思创新电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 贾磊 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种电阻应变片及电阻应变式传感器，其中，电阻应变片包括柔性基底；电阻应变传感单元，附着于所述柔性基底上。所述电阻应变传感单元两端设有引出电极。所述电阻应变式传感器包括电阻应变片和被测构件，电阻应变片与所述被测构件在物理量的作用下一起产生形变，通过测量形变过程中所述电阻应变片的电阻值变化量来测量作用于所述被测构件上的所述物理量的大小。本发明可以测量最大200％的应变、及其对应的物理量，而且集成度高、可拓展性好、易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 应变 传感器 | ||
【主权项】：
一种电阻应变片，其特征在于，所述电阻应变片包括柔性基底(10)、第一电极(22)、第二电极(23)和具有微米和纳米间隙结构的电阻应变传感层(21)，其中，电阻应变传感层(21)、第一电极(22)和第二电极(23)组成第一电阻应变传感单元(20)，采用微纳加工工艺将电阻应变传感层(21)、第一电极(22)和第二电极(23)加工于所述柔性基底(10)上，所述电阻应变传感层(21)为在较大形变下依旧保持电导通的金属导电薄膜，其中，所述金属导电薄膜的厚度为50nm；所述第一电阻应变传感单元(20)附着于所述柔性基底(10)上；所述电阻应变传感层(21)用于根据产生形变的大小改变对应的电阻值；所述第一电极(22)与所述电阻应变传感层(21)的一端电连接；所述第二电极(23)与所述电阻应变传感层(21)的另一端电连接，所述电阻应变片还包括：保护层(30)，覆盖于所述电阻应变传感层(21)上，用于保护所述电阻应变传感层(21)，其中，所述柔性基底(10)呈柱状结构，所述保护层(30)覆盖整个柱状柔性基底(10)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院深圳先进技术研究院;深圳三思创新电子科技有限公司，未经中国科学院深圳先进技术研究院;深圳三思创新电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510312473.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可调式滚齿切削力测量装置
- 下一篇：一种处方计步器及其系统、参数配置方法
