[发明专利]多发光单元半导体激光器近场非线性自动测试方法及装置

摘要

本发明提出了多发光单元半导体激光器近场非线性自动化测试方法及装置，采用对半导体激光器腔面光斑进行自动识别，设有参考光作为反馈判断光进行判断实现精确调节，提高了多发光单元半导体激光器近场非线性的准确性。本发明自动化程度高，降低由于人工操作带来的误差；本发明中，设有参考光作为反馈判断光可以实现半导体激光器腔面光斑自动化识别并可以进行判断实现精确调节，提高了多发光单元半导体激光器近场非线性的准确性。

主权项

1.多发光单元半导体激光器近场非线性自动化测试方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：待测多发光单元半导体激光器发出的光束入射至快轴准直镜，出射光经分光装置分光，分成光束B和参考光束A，参考光束A在空气中自由传播并入射至图像传感器M，光束B入射至成像系统后再入射至图像传感器N；步骤二：建立三维直角坐标系，以快轴准直镜光心为原点O，沿光束传输方向为Z轴正方向，半导体激光器快轴方向为Y轴，半导体激光器慢轴方向为X轴，沿Z轴平移调节快轴准直镜或者沿Y轴平移调节快轴准直镜或者以Z轴为旋转轴旋转调节快轴准直镜或者以Y轴为旋转轴旋转调节快轴准直镜或者以X轴为旋转轴旋转调节快轴准直镜，直至参考光束A在图像传感器M上的光斑长度、宽度、倾斜度最小，此时参考光束A在图像传感器N上的图样，记录为S1，此时光束B经过成像系统后入射至图像传感器N上的图样，记录为S2；步骤三：沿X轴方向平移调节快轴准直镜，采集光束B经过成像系统后入射至图像传感器N上的图样，记录为S3；步骤四：对比S2和S3，重复步骤二和步骤三直到S2和S3相同，记录S3为多发光单元半导体激光器近场非线性图样。