[发明专利]抛光头在审
| 申请号： | 201510315554.5 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN105127890A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 陈国兴;施荣荣;陈猛;费枭;赵倍吉 | 申请（专利权）人： | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/047 | 分类号： | B24B41/047 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201821 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光头，包括：抛头基座；抛头基座表面的固定环；以及连接固定环与抛头基座的垫片；所述垫片沿着垂直于抛头基座表面的方向具有弹性。本发明为了保证晶圆不受固定环高度的影响而能够与抛光台充分接触，垫片设置为沿着垂直于抛头基座表面的方向具有弹性。其优点在于，由于抛头基座与抛光台之间存在压力，在晶圆减薄至固定环接触到抛光台之后，虽然固定环也与抛光台接触，由于垫片具有弹性，因此仍然可以保证晶圆与抛光台之间以存在压力的状态充分接触。这就避免了晶圆因为受力不均而发生碎片的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
一种抛光头，包括：抛头基座；抛头基座表面的固定环；以及连接固定环与抛头基座的垫片；其特征在于，所述垫片沿着垂直于抛头基座表面的方向具有弹性。
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