[发明专利]一种宽频谱柔性光电探测器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种宽频谱柔性光电探测器及其制作方法，该探测器自下而上依次包括：柔性衬底层，在柔性衬底层上生长的金属电极层，该金属电极层为栅极，在金属电极层上覆盖生长的介质层，生长或转移覆盖在介质层上的石墨烯层，在石墨烯层的两端设置的第一金属电极和第二金属电极，所述的第一金属电极为源电极，所述的第二金属电极为漏电极。本发明可快速探测到石墨烯中光生载流子引起的源漏电极之间的光电流变化。因为石墨烯禁带宽度为零，且具有高电子迁移率、低电阻率，发明能够实现宽频谱、响应迅速的光电探测。同时因光电探测器采用柔性衬底，故本发明形状可弯曲伸展，形成柔性探测，具有广泛应用前景。

主权项

一种宽频谱柔性光电探测器，其特征在于，该探测器自下而上依次包括：柔性衬底层，在柔性衬底层上生长的金属电极层，该金属电极层为栅极，在金属电极层上覆盖生长的介质层，生长或转移覆盖在介质层上的石墨烯层，在石墨烯层的两端设置的第一金属电极和第二金属电极，所述的第一金属电极为源电极，所述的第二金属电极为漏电极。