[发明专利]利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法在审
| 申请号： | 201510322327.5 | 申请日： | 2015-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN105000531A | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 陈宜方;徐晨 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于电子束光刻技术领域，具体为一种利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法。本发明步骤包括：首先利用Beamer软件形成曝光文件，而后在硅片表面旋涂上一层光刻胶，利用电子束光刻，经过显影后得到微纳尺寸的微型照片。本发明利用电子束光刻曝光光刻胶，显影后不同厚度光刻胶具有不同的黑白灰度，从而生成微纳尺寸的微型照片。本发明方法对微纳图形结构的形貌可控，生成的微型照片具有纳米级别的分辨率，并可实现大面积制造。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 灰度 曝光 生成 尺寸 微型 照片 方法 | ||
【主权项】：
利用灰度曝光生成微纳尺寸微型照片的方法，其特征在于具体步骤如下：（1）利用Beamer软件形成曝光文件；（2）清洗硅衬底，在衬底上旋涂2‑5微米厚的PMMA胶，并烘烤使之硬化，烘烤温度为170‑190摄氏度，时间为30‑60分钟；（3）使用电子束光刻机对于设计好的图形进行曝光；（4）在22‑24摄氏度的1:1‑1:3的MIBK与IPA溶液中显影1‑5分钟，随后立刻在IPA溶液中冲洗30‑60秒。
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