[发明专利]一种判定GaAs基太赫兹混频肖特基二极管结面积的方法有效
| 申请号： | 201510323758.3 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104898034B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 杨晓艳;韩凌;陈梅;魏刚;纪东峰 | 申请（专利权）人： | 四川久成泰安科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人： | 郭受刚 |
| 地址： | 621000 四川省绵阳市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种判定GaAs基太赫兹混频肖特基二极管结面积的方法，所述方法包括将被测太赫兹肖特基二极管固定在测试台面，利用直流测试用探针扎在太赫兹肖特基二极管的两个金属焊盘上；使用半导体测试仪测试太赫兹肖特基二极管的电流和电压；基于获得的电流和电压，利用公式（7）计算出肖特基二极管结面积，实现了快速鉴别管芯，对器件无损伤，成本较低的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 判定 gaas 赫兹 混频 肖特基 二极管 面积 方法 | ||
【主权项】：
一种判定GaAs基太赫兹混频肖特基二极管结面积的方法，其特征在于，所述方法包括：将被测GaAs基太赫兹混频肖特基二极管固定在测试台面，利用直流测试用探针扎在GaAs基太赫兹混频肖特基二极管的两个金属焊盘上；使用半导体测试仪测试GaAs基太赫兹混频肖特基二极管的电流和电压；基于获得的电流和电压，利用公式(7)计算出GaAs基太赫兹混频肖特基二极管结面积，其中所述公式(7)为：S=exp[q(Vbi-V)ηkT]/98.65---(7)]]>其中，S为肖特基结的面积，单位为平方微米，q为电子电量，Vbi为GaAs基太赫兹混频肖特基二极管内建电势，固定为0.8V，V为半导体参数测试仪测试得到GaAs基太赫兹混频肖特基二极管两端的电压，η为表征肖特基接触质量好坏的理想因子，k为玻尔兹曼常数，T为肖特基结的温度；在测试过程中固定通过GaAs基太赫兹混频肖特基二极管的电流为10微安；所述GaAs基太赫兹混频肖特基二极管为反向并联的形式，两端分别为两个焊盘。
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