[发明专利]射束照射装置及射束照射方法

摘要

本发明提供一种提高射束照射处理品质的技术。本发明的射束照射装置(10)具备：射束扫描器(26)，使带电粒子束(B)沿规定的扫描方向往复扫描；测定器(42)，能够测量射入到作为测量对象的区域的带电粒子的角度成分；及数据处理部，利用测定器(42)的测定结果，计算带电粒子束(B)的有效照射发射度。测定器(42)在沿扫描方向往复扫描的带电粒子束(B)通过作为测量对象的区域而射入到测定器(42)的时间内测量针对带电粒子束(B)的角度分布的时间变化值，数据处理部将测定器所测量的角度分布的时间变化值中所包含的时间信息转换为位置信息来计算有效照射发射度。有效照射发射度表示针对假想射束的发射度，所述假想射束能够通过将沿扫描方向扫描而射入到作为测量对象的区域的带电粒子束的一部分相加而形成。

主权项

1.一种射束照射装置，其用于向对象物照射带电粒子束，其特征在于，具备：射束扫描器，使所述带电粒子束沿规定的扫描方向往复扫描；测定器，具有：狭缝，沿所述扫描方向的交叉方向具有细长形状，对作为测量对象的区域进行划分；及多个集电极，沿所述交叉方向具有细长形状，从所述狭缝沿射束前进方向分离，沿所述扫描方向排列配置；及数据处理部，利用所述测定器的测量结果，计算带电粒子束的有效照射发射度，所述测定器在所述往复扫描的带电粒子束沿所述扫描方向通过所述狭缝的开口区域的时间内，测量入射到所述狭缝而通过所述多个集电极检测的带电粒子数的时间变化值，所述数据处理部将所述测定器所测量的角度分布的时间变化值中所包含的时间信息转换为位置信息来计算所述有效照射发射度，所述有效照射发射度表示针对假想射束的所述扫描方向的发射度，所述假想射束能够通过将沿所述扫描方向扫描而射入到作为所述测量对象的区域的带电粒子束的一部分相加而形成。