[发明专利]基于前值的关键尺寸测量方法和设备有效
| 申请号： | 201510323992.6 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN106289095B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张振生;施耀明;孙冬梅;陈慧萍 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G06F16/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于前值的关键尺寸测量方法和设备。该基于前值的测量方法，包括：A.获取样品在前次工艺步骤中的第一测量数据；B.构建样品在当前工艺步骤中的光谱数据库，其中，在当前工艺步骤中的样品轮廓与前次工艺步骤中的样品轮廓至少部分地相关联；C.在前次工艺步骤中的测量区域上获取样品在当前工艺步骤中的测量光谱；D.基于样品在前次工艺步骤中的轮廓参数的数据，在光谱数据库中对测量光谱进行匹配分析，进而确定样品在当前工艺步骤中的轮廓参数的数据。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 关键 尺寸 测量方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种基于前值的测量方法，包括：A.获取样品在前次工艺步骤中的第一测量数据；B.构建所述样品在当前工艺步骤中的光谱数据库，其中，在所述当前工艺步骤中的样品轮廓与所述前次工艺步骤中的样品轮廓至少部分地相关联；C.在所述前次工艺步骤中的测量区域上获取所述样品在当前工艺步骤中的测量光谱；D.基于所述样品在所述前次工艺步骤中的轮廓参数的数据，在所述光谱数据库中对所述测量光谱进行匹配分析，进而确定所述样品在所述当前工艺步骤中的轮廓参数的数据。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于睿励科学仪器（上海）有限公司，未经睿励科学仪器（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510323992.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
