[发明专利]一种尾气回收系统

摘要

本发明提供一种尾气回收系统，用于回收来自上游工序的尾气，尾气包括氢气、氯化氢气体和氯硅烷气体，尾气回收系统包括尾气冷凝器、尾气分离单元、吸收塔、解析塔和吸收液冷凝器，其中吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分，其中第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入吸收液冷凝器，经过吸收液冷凝器的冷凝处理后进入吸收塔；其中第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体混合后进入解析塔，以实现吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液的部分自循环。本发明所述尾气回收系统既能实现低耗能又能减少氟利昂的用量，从而降低氟利昂泄露的风险。

主权项

1.一种尾气回收系统，用于回收来自上游工序的尾气，所述尾气包括氢气、氯化氢气体和氯硅烷气体，所述尾气回收系统包括尾气冷凝器、尾气分离单元、吸收塔、解析塔和吸收液冷凝器，其中，所述尾气冷凝器用于对所述尾气进行冷凝处理，以形成低温氯硅烷液体和氢气、氯化氢气体混合物，并输出至所述尾气分离单元，所述尾气分离单元用于对所述混合物进行气液分离处理，分离出来的氢气和氯化氢混合气输出至所述吸收塔，而分离出来的低温氯硅烷液体输出至所述解析塔，经所述解析塔的解析处理以形成氯硅烷贫液，并从所述解析塔的底部输出至所述吸收液冷凝器，所述吸收液冷凝器用于对所述氯硅烷贫液进行冷凝处理，以形成低温氯硅烷贫液，并输出至所述吸收塔，所述低温氯硅烷贫液以及所述氢气和氯化氢混合气经所述吸收塔的吸收处理以分别形成氢气和含有氯化氢的低温氯硅烷富液，且形成的氢气从所述吸收塔的顶部输出，形成的含有氯化氢的低温氯硅烷富液从所述吸收塔的底部输出，并与所述尾气分离单元输出的低温氯硅烷液体混合后进入所述解析塔，经所述解析塔的解析处理以分别形成氯化氢气体和氯硅烷贫液，且形成的氯化氢气体从所述解析塔的顶部输出，形成的氯硅烷贫液从所述解析塔的底部输出且经所述吸收液冷凝器的冷凝处理后再次进入所述吸收塔，如此循环往复从而对来自上游工序的尾气进行吸收解析循环处理，并分离出氢气和氯化氢气体，其特征在于，所述吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分，其中第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入所述吸收液冷凝器，经过所述吸收液冷凝器的冷凝处理后进入所述吸收塔，以实现所述吸收塔的底部输出的含有氯化氢的低温氯硅烷富液的部分自循环；其中第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体混合后进入所述解析塔；其中，所述第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分，其中一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入所述吸收液冷凝器，经过所述吸收液冷凝器的冷凝处理后进入所述吸收塔；其中另一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液进入所述尾气冷凝器的壳程输入端，从而对进入所述尾气冷凝器管程的尾气进行冷凝处理，并从所述尾气冷凝器的壳程输出端输出含有氯化氢的中温氯硅烷富液，与所述尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体、所述吸收塔底部输出的第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液混合后进入所述解析塔；或者，其中，所述尾气回收系统还包括氯化氢冷凝器，用于将所述解析塔顶部输出的氯化氢气体冷凝为氯化氢液体，所述第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成两部分，其中一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入所述吸收液冷凝器，经过所述吸收液冷凝器的冷凝处理后进入所述吸收塔；其中另一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液进入所述氯化氢冷凝器的壳程输入端，从而对进入所述氯化氢冷凝器管程的氯化氢气体进行冷凝处理，并从所述氯化氢冷凝器的壳程输出端输出含有氯化氢的中温氯硅烷富液，与所述尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体、所述吸收塔底部输出的第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液混合后进入所述解析塔；或者，其中，所述尾气回收系统还包括氯化氢冷凝器，用于将所述解析塔顶部输出的氯化氢气体冷凝为氯化氢液体，所述第一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液被分成三部分，其中一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液与所述解析塔的底部输出的氯硅烷贫液混合后进入所述吸收液冷凝器，经过所述吸收液冷凝器的冷凝处理后进入所述吸收塔；其中另一部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液进入所述尾气冷凝器的壳程输入端，从而对进入所述尾气冷凝器管程的尾气进行冷凝处理，并从所述尾气冷凝器的壳程输出端输出含有氯化氢的中温氯硅烷富液；其中剩余部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液进入所述氯化氢冷凝器的壳程输入端，从而对进入所述氯化氢冷凝器管程的氯化氢气体进行冷凝处理，并从所述氯化氢冷凝器的壳程输出端输出含有氯化氢的中温氯硅烷富液，与所述尾气冷凝器的壳程输出端输出含有氯化氢的中温氯硅烷富液、所述尾气分离单元分离出来的低温氯硅烷液体、所述吸收塔底部输出的第二部分含有氯化氢的低温氯硅烷富液混合后进入所述解析塔。