[发明专利]毛细玻璃管表面镀碳膜工艺有效
申请号: | 201510331571.8 | 申请日: | 2014-09-16 |
公开(公告)号: | CN104947066B | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
发明(设计)人: | 王英英;王昌;刘小会;赵庆超;马龙 | 申请(专利权)人: | 山东省科学院激光研究所 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/46 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人: | 曲志波 |
地址: | 272073 山东省济*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种毛细玻璃管表面镀碳膜工艺,它包括如下步骤将毛细玻璃管置于光纤夹具底端的准直玻璃管中,将中间套与壳体的相对位置进行标记;调节二氧化碳打标机的出光点与棱镜的之间的距离与棱镜到石英毛细玻璃管的距离之和为二氧化碳打标机的焦距,然后通过位置移动平台进行距离的微调,微调至通过观察窗口观察石英毛细玻璃管的亮度最大时停止调节;打开真空泵开关边通入反应气体边抽气,以确保壳体内充满反应气体后将真空泵关闭;打开二氧化碳打标机打标;反应气体分解,碳膜沉积在毛细玻璃管的表面;对毛细玻璃管的另外一面进行局部加热镀碳膜。涂覆碳膜的毛细玻璃管可以有效的阻止外界环境中氢离子的腐蚀,提高其使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 玻璃管 表面 镀碳膜 工艺 | ||
【主权项】:
一种毛细玻璃管表面镀碳膜工艺,它包括如下步骤:(1)使用毛细玻璃管表面镀碳膜装置;所述毛细玻璃管表面镀碳膜装置包括固定在底座上的二氧化碳激光打标机,与二氧化碳激光打标机配合的棱镜,还包括一中空的壳体,在壳体一个侧面设置有与棱镜相对应的透光窗口,在壳体上设置有第一气孔和第二气孔,第一气孔与真空泵连通,第二气孔与乙炔氮气气体罐连通;在壳体上设置有光纤夹具,壳体内部与壳体外部气密封;将需要镀碳膜的毛细玻璃管置于光纤夹具底端的准直玻璃管中,尾纤穿过橡胶垫圈,拧紧紧固螺帽,压紧中间套和橡胶垫圈,将中间套与壳体的相对位置进行标记,真空泵和乙炔氮气气体罐与壳体连接;(2)调节二氧化碳打标机的出光点与棱镜的之间的距离与棱镜到毛细玻璃管的距离之和为二氧化碳打标机的焦距,然后通过位置移动平台进行距离的微调,微调至通过观察窗口观察毛细玻璃管的亮度最大时停止调节;(3)打开真空泵抽气,抽气至压力表显示为零时关闭真空泵开关,打开乙炔氮气气体罐开关,通入反应气体,通气3分钟后,打开真空泵开关边通入反应气体边抽气,以确保壳体内充满反应气体,没有空气,然后将真空泵关闭;(4)打开二氧化碳打标机设定打标图形为长方形,长度为5cm,调节二氧化碳打标机打标强度为300bit时,开始进行打标,即二氧化碳激光对毛细玻璃管的加热,由于打标图形为长方形,激光会对毛细玻璃管的总长度进行打标,避免了采用激光器单点激光加热时还需使毛细玻璃管上下移动时不同轴引起的加热不均匀;在打标加热的同时,反应气体分解,碳膜沉积在毛细玻璃管的表面,对毛细玻璃管打标2~3次,停止打标;(5) 中间套上设置有竖向滑槽和准直玻璃管固定座上的定位凸起配合,定位凸起的作用是使中间套和准直玻璃管固定座保持周向定位;(6)以中间套与壳体的相对位置的标记为基础,用扳手将中间套顺时针转动180°,对毛细玻璃管的另外一面进行局部加热镀碳膜,方法同上;(7)毛细玻璃管两侧碳膜沉积完成后,先将真空泵打开将壳体内的乙炔反应气体抽出,然后拧开紧固螺帽,将光纤夹具取出,在将镀碳膜的毛细玻璃管从准直玻璃管中取出,至此毛细玻璃管表面镀碳膜完成。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的