[发明专利]一种纳米材料真空镀膜机

摘要

本发明涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种纳米材料真空镀膜机，包括用于将镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉、对气体进行裂解反应的裂解炉以及对产品进行镀膜的镀膜装置，所述镀膜装置包括真空炉、对真空炉内进行抽真空的真空泵以及对真空炉内进行加压的加压泵，所述真空炉分别通过管道与真空泵和加压泵连接，所述蒸发炉、裂解炉和真空炉之间通过管道连通，所述裂解炉和真空炉之间还设置有气动阀，本发明结构简单、紧凑，密封性强，镀膜效果好，薄膜不宜脱落，镀膜材料采用纳米材料不会生产有害气体。

主权项

一种纳米材料真空镀膜机，其特征在于：包括用于将纳米镀膜材料蒸发成气体的蒸发炉（1）、对气体进行裂解反应的裂解炉（2）以及对产品进行镀膜的镀膜装置，所述镀膜装置包括真空炉（3）、对真空炉（3）内进行抽真空的真空泵（4）以及对真空炉（3）内进行加压的加压泵，所述真空炉（3）分别通过管道与真空泵（4）和加压泵连接，所述蒸发炉（1）、裂解炉（2）和真空炉（3）之间通过管道连通，所述裂解炉（2）和真空炉（3）之间还设置有气动阀（6），所述蒸发炉包括蒸发炉体（11）和密封门（12），所述蒸发炉体（11）内设置有蒸发室（13），所述蒸发室内设置有内加热板（14），所述内加热板（14）包括板体，所述板体内设置有加热丝（15）和第一冷凝管（16），所述蒸发炉体（11）的外表面设置有外层加热板（17）。