[发明专利]涂敷方法、涂敷装置、制造方法及制造装置在审

专利信息
申请号: 201510332574.3 申请日: 2015-06-16
公开(公告)号: CN105289948A 公开(公告)日: 2016-02-03
发明(设计)人: 藤原五男;高本德男;永田义寿;中川优志;早野一臣;小川康一 申请(专利权)人: 平田机工株式会社;迪睿合电子材料有限公司
主分类号: B05D1/26 分类号: B05D1/26;B05C5/02;B05C11/02;B32B37/02;B32B38/16;B32B37/10
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 李成海
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种涂敷方法、涂敷装置、制造方法及制造装置。涂敷方法是将液状的光硬化性树脂涂敷在面板的表面上的涂敷方法,其中,在上述面板的上述表面的周边缘部形成了表面高度的台阶,上述涂敷方法,包含:以具备可输出光硬化性树脂的狭缝状的喷嘴的涂敷头在上述面板的上述表面上相对地移动的方式,使上述涂敷头或者上述面板的一方移动的移动工序;和在上述移动工序中,从上述喷嘴将上述光硬化性树脂向上述面板的上述表面上输出的涂敷工序,在上述涂敷工序中,在上述面板的上述表面的上述表面高度的台阶中,控制上述光硬化性树脂的膜厚,以便在上述光硬化性树脂的液膜表面上不产生表面高度的台阶。
搜索关键词: 方法 装置 制造
【主权项】:
一种涂敷方法,是将液状的光硬化性树脂涂敷在面板的表面上的涂敷方法,其特征在于,在上述面板的上述表面的周边缘部形成了表面高度的台阶,上述涂敷方法,包含:以具备可输出光硬化性树脂的狭缝状的喷嘴的涂敷头在上述面板的上述表面上相对地移动的方式,使上述涂敷头或者上述面板的一方移动的移动工序;和在上述移动工序中,从上述喷嘴将上述光硬化性树脂向上述面板的上述表面上输出的涂敷工序,在上述涂敷工序中,在上述面板的上述表面的上述表面高度的台阶中,控制上述光硬化性树脂的膜厚,以便在上述光硬化性树脂的液膜表面上不产生表面高度的台阶。
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