[发明专利]一种具有自清洗作用的抛光剂及抛光液有效
| 申请号： | 201510332607.4 | 申请日： | 2015-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN104962199B | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王乐军;徐明艳;代克;周万里 | 申请（专利权）人： | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09G1/18 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司41119 | 代理人： | 牛爱周 |
| 地址： | 450000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有自清洗作用的抛光剂及抛光液，所述抛光剂包括以下重量份数的组分二氧化硅5～40份、碱性化合物0.2～10份、椰子酸二乙醇胺缩合物0.001～1份、表面活性剂0.001～0.5份。本发明的抛光液，添加的椰子酸二乙醇胺缩合物可以吸附到有机物和磨料颗粒的表面，大大增加了有机物和磨料颗粒的表面活性，其与其他组分相互配合，协调作用，使抛光液具有自清洗作用；大大减少甚至完全避免了有机物和磨料颗粒在外延晶片表面的粘附；抛光后的晶片表面不会粘附有机物和磨料颗粒，或是仅有极少的粘附，后续勿需再用酸碱清洗，避免了对外延膜层产生腐蚀损坏，简化了清洗工序，节约了清洗成本，适合推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 清洗 作用 抛光 | ||
【主权项】：
一种具有自清洗作用的抛光剂，其特征在于：由以下重量份数的组分组成：二氧化硅5～40份、碱性化合物0.2～10份、椰子酸二乙醇胺缩合物0.001～1份、表面活性剂0.001～0.5份；所述表面活性剂为十二烷基硫酸钠与壬基酚聚氧乙烯醚的混合物；十二烷基硫酸钠与壬基酚聚氧乙烯醚的质量比为1:0.3～8；所述碱性化合物为氢氧化钾、氢氧化钠、四甲基氢氧化铵、乙二胺中的任意一种或多种。
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