[发明专利]一种提浓纯化高纯氦气的装置和方法

摘要

本发明提供了一种提浓纯化高纯氦气的装置及方法。所述的提浓纯化高纯氦气的装置，其特征在于，包括依次连接的除氯装置、缓冲罐、压缩机、过滤器、干燥机、干燥塔、液氩罐、固氩罐、吸附罐和储气罐。本发明的提浓纯化高纯氦气的装置和方法可以将氦气提纯到≥99.999％以上，且氦气回收率达到95％以上，可以二次供给用户端继续使用，实现了氦气的循环使用。

主权项

一种提浓纯化高纯氦气的方法，其特征在于，采用提浓纯化高纯氦气的装置，所述的提浓纯化高纯氦气的装置包括依次连接的除氯装置（1）、缓冲罐（2）、压缩机（3）、过滤器（4）、干燥机（5）、干燥塔（6）、液氩罐（8）、固氩罐（9）、吸附罐（10）和储气罐（11）；所述的吸附罐采用分子筛作为吸附剂，具体步骤包括：步骤1：将浓度为50‑99%的原料氦气首先经过一个除氯装置（1）去除尾气中残余的氯气，而后尾气被收集到缓冲罐（2）内；步骤2：缓冲罐（2）出口的氦气经过压缩机（3）增压；步骤3：压缩机（3）出口后的高压气体经过过滤器（4）和干燥机（5）进行除油、除水和除颗粒；步骤4：干燥机（5）出口的洁净干燥的气体首先进入干燥塔（6），在常温下，使用分子筛将氦气中水分和二氧化碳去除；步骤5：从干燥塔（6）出来的洁净氦气再进入液氩罐（8），控制液氩罐（8）的温度，将大部分的氩气凝结后通过排放阀排掉，纯净的气体再进入固氩罐；步骤6：控制固氩罐（9）的温度，将剩余的部分氩气固化，同时将大部分的氮气和氧气冷凝凝结，冷凝下来的氮气和氧气通过排放阀排掉，固态的氩气在系统再生时气化后排掉，纯净的氦气再进入吸附罐（10）内；步骤7：控制吸附罐（10）的温度，将剩余的氩气、氮气和氧气进行吸附纯化处理；步骤8：将纯净的高纯氦气收集到储气罐（11）内。