[发明专利]一种线栅偏振器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种线栅偏振器及其制造方法。该线栅偏振器包括吸收层和金属线栅。吸收层包括基板、间隔分布于基板上表面的多个第一凸起部、设置于第一凸起部表面的铝线以及二氧化硅层。金属线栅包括涂布于二氧化硅层表面的平坦层、设置于平坦层上方的铝层以及间隔分布于铝层上表面的第二凸起部，藉由第二凸起部蚀刻该铝层以形成光栅结构。相比于现有技术，本发明采用叠层的双光栅结构可改善现有线栅偏振器的视角缺陷，并且还可消除暗态漏光的不良情形。

主权项

一种线栅偏振器，其特征在于，所述线栅偏振器包括：吸收层，包括：基板；多个第一凸起部，被配置为间隔分布于基板的上表面；铝线，设置于每个第一凸起部的上表面；以及二氧化硅层，堆叠于所述铝线的上方；以及金属线栅，包括：平坦层，涂布于所述二氧化硅层的表面；铝层，设置于所述平坦层的上方；以及多个第二凸起部，被配置为间隔分布于所述铝层的上表面，其中，藉由所述第二凸起部对所述铝层进行蚀刻以形成光栅结构。