[发明专利]满足多频率需求的宽频带超声换能器复合机构

摘要

本发明公开了一种满足多频率需求的宽频带超声换能器复合机构，包括由下到上依次设置的底部的第一电极层、绝缘层、低频、高频腔体层、绝缘弹性振动膜层和第二电极层，并构成一个整体的复合机构，在复合机构中又通过低频绝缘支撑板上设有的一排通槽与绝缘层和绝缘弹性振动膜层构成一个低频真空腔，通过每个低频真空腔及上方的第二电极片、下方的第一电极片构成一个独立的单元结构，独立的单元结构可以自由控制；通过控制独立的单元结构，使得独立的单元结构可以工作在高频状态，也可以工作在低频状态，并且能够分时控制，提供宽范围的频宽和满足不同频率需要，从而应用于多频需求的场合。

主权项

一种满足多频率需求的宽频带超声换能器复合机构，其特征在于：包括由下到上依次设置的底部的第一电极层、绝缘层、低频、高频腔体层、绝缘弹性振动膜层和第二电极层，第一电极层采用第一电极片，第一电极片的上表面与绝缘层的下表面连接，低频、高频腔体层包括低频绝缘支撑板和框体结构的高频绝缘支撑体，低频绝缘支撑板的下表面连接绝缘层的上表面，低频绝缘支撑板的上表面连接绝缘弹性振动膜层的下表面，低频绝缘支撑板上设有一排上下通透的通槽，每个通槽与绝缘层和绝缘弹性振动膜层构成一个低频真空腔，每个低频真空腔内设有一个高频绝缘支撑体，高频绝缘支撑体的上表面与绝缘弹性振动膜层下表面贴合，且高频绝缘支撑体的下表面与绝缘层上表面不接触，第二电极层包括多个第二电极片，每个第二电极片的下表面与绝缘弹性振动膜层的上表面连接，且每个低频真空腔上方对应设置一个第二电极片；初始状态下，当第一电极片和第二电极片之间未加电压时，通槽、绝缘弹性振动膜和绝缘层构成低频真空腔；当第一电极片和第二电极片间施加的交流电压不超过低频真空腔的塌陷电压时，绝缘弹性振动膜层做上下往复振动动作，且高频绝缘支撑体下表面与绝缘层上表面不接触；当第一电极片和第二电极片间施加的交流电压超过低频真空腔的塌陷电压时，绝缘弹性振动膜层做上下往复振动动作，且高频绝缘支撑体下表面与绝缘层上表面接触，高频绝缘支撑体内的空间、绝缘层和绝缘弹性振动膜形成高频真空腔。