[发明专利]一种雾化沉积室

摘要

一种雾化沉积室，涉及雾化热分解沉积薄膜的成形技术领域。由气雾缓冲室、气雾隔离室和废气回收室组成，在气雾缓冲室上设置气雾导入口，在气雾隔离室上设置净气导入口，在废气回收室上设置废气导出口；气雾缓冲室的下端与所述气雾导出狭缝的上端联通，在气雾隔离室的下端设置气雾约束狭缝，在废气回收室的下端设置气雾回收狭缝，所述气雾导出狭缝的下端设置在所述气雾约束狭缝和气雾回收狭缝之间，气雾导出狭缝与气雾约束狭缝和气雾回收狭缝相互平行布置。本结构简捷紧凑，能够有效控制雾化沉积过程中流场分布、沉积雾滴的均匀性、热分解反应副产物的收集、适合工业化生产。

主权项

一种雾化沉积室，其特征在于：主要由气雾缓冲室、气雾隔离室和废气回收室组成，在气雾缓冲室上设置气雾导入口，在气雾隔离室上设置净气导入口，在废气回收室上设置废气导出口；所述气雾隔离室和废气回收室并排设置，气雾隔离室和废气回收室分别设置在气雾缓冲室的下方，并在气雾隔离室和废气回收室之间设置气雾导出狭缝，所述气雾缓冲室的下端与所述气雾导出狭缝的上端联通，在气雾隔离室的下端设置气雾约束狭缝，在废气回收室的下端设置气雾回收狭缝，所述气雾导出狭缝的下端设置在所述气雾约束狭缝和气雾回收狭缝之间，气雾导出狭缝与气雾约束狭缝和气雾回收狭缝相互平行布置。