[发明专利]一种瀑布式显影喷嘴有效
| 申请号： | 201510340492.3 | 申请日： | 2015-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN106325008B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 张怀东 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于化学药液喷洒工艺技术领域，具体地说是一种瀑布式显影喷嘴。包括分液管道、缓冲槽及瀑布成型柱，其中缓冲槽的一端设有开口，所述瀑布成型柱设置于缓冲槽的开口处、并与缓冲槽抵接，所述瀑布成型柱的高度低于缓冲槽的高度，所述分液管道的一端插设于缓冲槽内，另一端与设置于缓冲槽外部的显影液压力供应装置连接，所述显影液压力供应装置将显影液通过分液管道输送至缓冲槽内，当缓冲槽内的显影液液面高度高于瀑布成型柱的高度时，显影液沿瀑布成型柱的外表面流出。本发明药液供应流量大而喷洒冲击力小，显影液布满晶片时间短，药液喷洒连续，喷嘴可以方便清洗，吹干。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 瀑布 显影 喷嘴 | ||
【主权项】：
1.一种瀑布式显影喷嘴，其特征在于，包括分液管道(1)、缓冲槽(2)及瀑布成型柱(3)，其中缓冲槽(2)的一端设有开口，所述瀑布成型柱(3)设置于缓冲槽(2)的开口处、并与缓冲槽(2)抵接，所述瀑布成型柱(3)的高度低于缓冲槽(2)的高度，所述分液管道(1)的一端插设于缓冲槽(2)内，另一端与设置于缓冲槽(2)外部的显影液压力供应装置(9)连接，所述显影液压力供应装置(9)将显影液(7)通过分液管道(1)输送至缓冲槽(2)内，当缓冲槽(2)内的显影液液面高度高出瀑布成型柱(3)的顶端后，显影液沿瀑布成型柱(3)的外表面连续流出；所述瀑布式显影喷嘴进一步包括设置于所述缓冲槽(2)外侧的驱动机构(4)，所述驱动机构(4)与瀑布成型柱(3)连接、并驱动瀑布成型柱(3)贴合或远离缓冲槽(2)。
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