[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201510341383.3 | 申请日: | 2015-06-18 |
公开(公告)号: | CN106328703B | 公开(公告)日: | 2019-07-19 |
发明(设计)人: | 廖文甲 | 申请(专利权)人: | 台达电子工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;赵根喜 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种半导体装置包含基板、有源层、源极、漏极、栅极、第一金属层与第二金属层。有源层置于基板上。源极与漏极分别电性连接有源层。栅极置于有源层上并置于源极与漏极之间。栅极具有第一延伸部,往漏极延伸。第一金属层部分置于栅极的第一延伸部与有源层之间,并往漏极延伸,使得另一部分的第一金属层突出于第一延伸部。第一金属层与源极电性连接。第二金属层置于栅极的第一延伸部上方,并往漏极延伸,使得另一部分的第二金属层突出于第一延伸部。第二金属层与源极电性连接。本发明的半导体装置通过增加栅极与源极之间的电容值,以降低半导体装置的米勒因子。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,包含:一基板;一有源层,置于该基板上;一源极与一漏极,分别电性连接该有源层;一栅极,置于该有源层上并置于该源极与该漏极之间,其中该栅极具有一第一延伸部,往该漏极延伸;一第一金属层,部分置于该栅极的该第一延伸部与该有源层之间,并往该漏极延伸,使得另一部分的该第一金属层突出于该第一延伸部,其中该第一金属层与该源极电性连接;以及一第二金属层,置于该栅极的该第一延伸部上方,并往该漏极延伸,使得另一部分的该第二金属层突出于该第一延伸部,其中该第二金属层与该源极电性连接。
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