[发明专利]无正交误差的单路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪

摘要

无正交误差的单路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过一个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生单路偏振方向正交、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光通过两个绕光束空间旋转角度成特定关系的渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明采用较少的光学元件实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。

主权项

一种无正交误差的单路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪，由干涉部分(13)和探测部分(14)组成，所述探测部分由第二消偏振分光镜(25)、第一四分之一波片(2)、第一渥拉斯特棱镜(7)、第二渥拉斯特棱镜(8)、第一光电探测器(9)、第二光电探测器(10)、第三光电探测器(11)和第四光电探测器(12)组成，其特征在于：所述干涉部分(13)由激光器(1)、第一消偏振分光镜(3)、测量镜(4)、第二四分之一波片(5)、参考镜(6)组成；激光器(1)发出线偏振光，经第一消偏振分光镜(3)进行分光，反射光形成第一光束(15)作为测量光，透射光形成第二光束(16)作为参考光；第一光束(15)经测量镜(4)反射后，再经第一消偏振分光镜(3)透射形成第三光束(17)；第二光束(16)经过第二四分之一波片(5)后变成圆偏振光，经参考镜(6)反射后再次经过第二四分之一波片(5)变成线偏振光，然后经第一消偏振分光镜(3)反射形成第四光束(18)；第三光束(17)、第四光束(18)为光路重合、且偏振方向正交的线偏振光。