[发明专利]化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置及温度信号的利用

摘要

本发明提供了一种在不影响抛光工艺过程的前提下高精度地实时检测抛光界面温度的装置，还提供了利用检测到的温度信号进行抛光终点判断和抛光过程监控的方法。该温度检测装置由温度传感器、信号处理模块、导电滑环、信号接收装置、电源及连接各组件间的导线组成。其中，温度传感器的感温区域直接与被抛光工件的背面接触，传感器输出的弱信号经过信号处理模块处理后由导电滑环将其传输到信号接收装置，再由信号接收装置对信号进行采集、处理和显示等操作。当从被抛光工件的一层材料层上去除另外一种材料层时，可以根据抛光界面温度的变化情况判断抛光终点。将抛光界面温度和同一工艺参数下抛光界面的正常温度范围对比，可以判断加工过程是否正常。

主权项

一种化学机械抛光过程中抛光界面的温度检测装置，其特征在于：包括温度传感器、信号处理模块、导电滑环、信号接收装置、电源及连接各组件间的导线，其中，温度传感器通过导线与信号处理模块连接，信号处理模块通过导电滑环与信号接收装置和电源连接，温度传感器安装在被抛光工件的夹持器上，其感温区域与被抛光工件的背面接触，信号处理模块固定于夹持器上，导电滑环安装在夹持器上并与夹持器同轴；当抛光界面温度上升速度不影响热电阻温度传感器对温度测量的准确性时，所述温度传感器采用热电阻温度传感器，当抛光界面温度上升速度影响热电阻温度传感器对温度测量的准确性时，所述温度传感器采用热电偶温度传感器。