[发明专利]一种蒸镀设备以及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201510342638.8 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN106319451B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 卢佳毅;严达祥;徐传源 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 臧云霄;李峰 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种蒸镀设备以及蒸镀方法。所述蒸镀设备包括：反应腔体，所述反应腔体内设有基板固定装置，用于固定待蒸镀基板；至少两个子腔体，多个所述子腔体临接设置于所述反应腔体的至少一侧，且分别可与所述反应腔体密封隔离或连通；至少两个蒸镀源，每个所述蒸镀源均对应地设置于一个所述子腔体内，且可在所述子腔体和所述反应腔体之间往复移动。该蒸镀设备有利于实现无缝接轨的生产模式，减少停机需求，大幅度提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括：反应腔体，所述反应腔体内设有基板固定装置，用于固定待蒸镀基板；至少两个子腔体，多个所述子腔体临接设置于所述反应腔体的至少一侧，且分别可与所述反应腔体密封隔离或连通；至少两个蒸镀源，每个所述蒸镀源均对应地设置于一个所述子腔体内，且可在所述子腔体和所述反应腔体之间往复移动；在所述反应腔体内进行蒸镀的所述蒸镀源中的蒸镀材料使用完毕前，将一所述子腔体中的蒸镀源升温至处于可蒸镀状态，用于替换所述反应腔体内的所述蒸镀源；所述反应腔体与每个所述子腔体之间通过一隔离装置密封隔离或连通；所述隔离装置分割所述蒸镀设备的内部空间得到所述反应腔体和所述子腔体；所述蒸镀设备还包括镀率探测器，设置于每个所述子腔体中，用于在所述蒸镀源移动至所述反应腔体之前对所述蒸镀源的镀率进行侦测。
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