[发明专利]离子注入的测量方法有效
| 申请号： | 201510345847.8 | 申请日： | 2015-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN106324654B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 肖志强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子注入的测量方法，包括：提供离子注入系统，在离子注入系统的离子束输出端设置有至少一组堆叠法拉第杯；使用堆叠法拉第杯在垂直于离子束入射方向的第一平面上进行第一二维离子束分布测量，以获得第一平面上的离子束分布的第一质心点；在垂直于离子束入射方向的第二平面确定离子束分布的第一质心点的投影点，其中第二平面与第一平面具有沿离子束入射方向的第一距离；使用堆叠法拉第杯在第二平面上进行第二二维离子束分布测量，以获得第二平面上的离子束分布的第二质心点；根据第一质心点的投影点与第二质心点的位置和第一距离计算所述离子束的入射角度。本发明提供的离子注入的测量方法能够在对离子束的入射角度进行测量的同时给出水平和竖直方向的离子束入射角度，有利于简化测量过程，并更加精确地测量离子注入特性。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子注入的测量方法，包括：步骤1：提供离子注入系统，在所述离子注入系统的离子束输出端设置有至少一组堆叠法拉第杯；步骤2：使用所述堆叠法拉第杯在垂直于所述离子束入射方向的第一平面上进行第一二维离子束分布测量，以获得所述第一平面上的离子束分布的第一质心点；步骤3：在垂直于所述离子束入射方向的第二平面确定所述离子束分布的所述第一质心点的投影点，其中所述第二平面与所述第一平面具有沿离子束入射方向的第一距离；步骤4：使用所述堆叠法拉第杯在所述第二平面上进行第二二维离子束分布测量，以获得所述第二平面上的离子束分布的第二质心点；步骤5：根据所述第一质心点的投影点与所述第二质心点的位置和所述第一距离计算所述离子束的入射角度。
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