[发明专利]一种微型三自由度单循环式PMMA气流陀螺

摘要

本申请公开了一种微型三自由度单循环式PMMA气流陀螺，该气流陀螺包括敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，敏感元件包括PMMA盖板、硅板和PMMA底座；其中，PMMA盖板上设置有气流回路；硅板上设置有三自由度敏感热线；PMMA底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PMMA盖板、硅板和PMMA底座依次连接构成敏感元件。本申请的气流陀螺以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低，仅为全硅结构的1/10；采用密闭空间内的单循环气流作为角速度气流敏感体，陀螺的稳定性好，陀螺灵敏度较大；实现了三个方向较高灵敏度的角速度测量；敏感三个方向角速度的循环气流敏感体由一个压电陶瓷振子驱动，结构简单，使用寿命长。

主权项

一种微型三自由度单循环式PMMA气流陀螺，所述气流陀螺包括敏感元件和PCB电路板，所述敏感元件和PCB电路板电连接，其特征在于，所述敏感元件包括PMMA盖板、硅板和PMMA底座；其中，所述PMMA盖板上设置有气流回路；所述硅板上设置有三自由度敏感热线；所述PMMA底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PMMA盖板、硅板和PMMA底座依次连接构成所述敏感元件；所述PMMA底座的一侧开设有一圆孔，所述圆孔的边缘设置有高度小于PMMA底座厚度的台阶，所述压电陶瓷振子粘结在所述台阶上；PMMA底座的另一侧设置有梯形泵槽和若干个凹槽，所述泵槽的上部与所述圆孔的边缘重合相切，泵槽的底部两端设置有两个排气槽，所述泵槽的底部下方设置有下储气槽，所述下储气槽与所述排气槽连通；排气槽相对于下储气槽的对侧设置有两个长方形的下导流槽，所述导流槽的长度方向为PMMA底座的长度方向；下导流槽与下储气槽的交汇处设置有两个下进口槽；两个下导流槽的末端设置有两个长方形副敏感槽，所述副敏感槽的长度方向为PMMA底座的宽度方向；两个副敏感槽相交后沿着PMMA底座的长度方向开设有中心喷口槽，与所述中心喷口槽连通设置有主敏感槽，所述主敏感槽的与下储气槽连通。