[发明专利]铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法在审

专利信息
申请号: 201510347623.0 申请日: 2015-06-23
公开(公告)号: CN106282941A 公开(公告)日: 2017-01-04
发明(设计)人: 陈荣志;张瑞东 申请(专利权)人: 中国钢铁股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;B22F3/14
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司11127 代理人: 姚亮
地址: 中国台湾*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供了一种铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法,包括以下步骤:(a)提供金属铜及金属镓;(b)真空熔炼金属铜及金属镓,形成铜镓合金溶液;(c)雾化该铜镓合金溶液,形成多个铜镓合金微液滴,并冷却上述铜镓合金微液滴,形成铜镓合金粉体;(d)混合该铜镓合金粉体与钠化合物粉体,形成铜镓合金-钠化合物复合粉体;及(e)利用电阻式热压法成型及致密化该铜镓合金-钠化合物复合粉体,制得铜镓合金复合钠元素靶材。
搜索关键词: 合金 复合 元素 制造 方法
【主权项】:
一种铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法,包括以下步骤:(a)提供金属铜及金属镓;(b)真空熔炼金属铜及金属镓,形成铜镓合金溶液;(c)雾化所述铜镓合金溶液,形成多个铜镓合金微液滴,并冷却所述铜镓合金微液滴,形成铜镓合金粉体;(d)混合所述铜镓合金粉体与钠化合物粉体,形成铜镓合金‑钠化合物复合粉体;及(e)利用电阻式热压法成型及致密化所述铜镓合金‑钠化合物复合粉体,制得铜镓合金复合钠元素靶材。
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