[发明专利]铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法在审
申请号: | 201510347623.0 | 申请日: | 2015-06-23 |
公开(公告)号: | CN106282941A | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 陈荣志;张瑞东 | 申请(专利权)人: | 中国钢铁股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F3/14 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 姚亮 |
地址: | 中国台湾*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了一种铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法,包括以下步骤:(a)提供金属铜及金属镓;(b)真空熔炼金属铜及金属镓,形成铜镓合金溶液;(c)雾化该铜镓合金溶液,形成多个铜镓合金微液滴,并冷却上述铜镓合金微液滴,形成铜镓合金粉体;(d)混合该铜镓合金粉体与钠化合物粉体,形成铜镓合金-钠化合物复合粉体;及(e)利用电阻式热压法成型及致密化该铜镓合金-钠化合物复合粉体,制得铜镓合金复合钠元素靶材。 | ||
搜索关键词: | 合金 复合 元素 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种铜镓合金复合钠元素靶材的制造方法,包括以下步骤:(a)提供金属铜及金属镓;(b)真空熔炼金属铜及金属镓,形成铜镓合金溶液;(c)雾化所述铜镓合金溶液,形成多个铜镓合金微液滴,并冷却所述铜镓合金微液滴,形成铜镓合金粉体;(d)混合所述铜镓合金粉体与钠化合物粉体,形成铜镓合金‑钠化合物复合粉体;及(e)利用电阻式热压法成型及致密化所述铜镓合金‑钠化合物复合粉体,制得铜镓合金复合钠元素靶材。
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