[发明专利]创建对称FIB沉积的方法和系统

摘要

提供了一种使用利用成角度的射束的带电粒子射束沉积产生对称沉积的系统。在过去，使用具有非正交入射角的FIB产生沉积，该沉积朝向FIB射束路径生长，从而使得难以产生沉积物的均匀性。利用本发明，即使在使用非正交FIB的情况下也得到对称的沉积。

主权项

一种使用聚焦离子射束形成具有均匀沉积的TEM样本薄片的方法，包括：以大于偏离表面法向30度的角度将聚焦离子射束引导朝向工件表面，带电粒子具有10keV或更小的着陆能量；在所述带电粒子射束的撞击点处提供碳前驱气体，在存在所述离子射束时，所述碳前驱气体分解以将碳沉积到所述工件上；以及将聚焦离子射束引导朝向所述工件上的沉积的材料以将材料从感兴趣的区域的两侧移除，从而保留包含感兴趣区域的薄的薄片，所述沉积的碳在形成期间保护所述薄的薄片。