[发明专利]一种具有电磁屏蔽效能的垂直互连结构及其制作方法

摘要

本发明公开了一种具有电磁屏蔽效能的垂直互连结构及其制作方法，该结构包括实心金属通柱、金属屏蔽层和金属氧化物；其中实心金属通柱为封装基板内任意层间垂直互连的金属导体；金属屏蔽层为包围实心金属通柱的环形金属屏蔽层；金属氧化物为实心金属通柱和金属屏蔽层之间的环形绝缘介质。该方法包括第一次光刻在一基板上下表面形成垂直互连结构的图形掩膜；进行致密型阳极氧化；去除垂直互连结构的图形掩膜，第二次光刻在基板上下表面形成实心金属通柱的图形掩膜和金属屏蔽层的图形掩膜；进行穿透型阳极氧化；去除实心金属通柱的图形掩膜和金属屏蔽层的图形掩膜。本发明的垂直互连结构及其制作方法，有效解决了电磁泄漏问题。

主权项

一种具有电磁屏蔽性能的垂直互连结构，其特征在于，包括：实心金属通柱、金属屏蔽层和金属氧化物；其中：所述实心金属通柱为封装基板内任意层间垂直互连的金属导体；所述金属屏蔽层为包围所述实心金属通柱的环形金属屏蔽层；所述金属氧化物为所述实心金属通柱和所述金属屏蔽层之间的环形绝缘介质；所述实心金属通柱的材料与所述金属屏蔽层的材料为同一种金属材料；所述金属材料为可阳极氧化的金属材料。