[发明专利]一种共轭差分法检测柱面镜绝对面形的装置在审
| 申请号： | 201510348879.3 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN106323191A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 马骏;孙玮苑;朱日宏;高志山;魏家冬;何庆浩;王磊 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种共轭差分法检测柱面镜绝对面形的装置，包括气浮光学抗震平台、干涉仪、标准平面镜、柱面CGH、精密电控旋转台、精密三维位移台、万向调节镜架、待测柱面、连接底板、连接片和连接杆,利用该装置可对待测柱面实现在沿母线方向及绕中心轴方向上的共轭运动，从而实现对柱面面形的绝对检测。通过测得柱面这两个方向上的差分量，通过波面复原算法即可恢复出待测波面。本发明结构简单、易于装调、抗震性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 共轭 差分法 检测 柱面 绝对 装置 | ||
【主权项】：
一种共轭差分法检测柱面镜绝对面形的装置，其特征在于：包括气浮光学抗震平台（1）、干涉仪（2）、标准平面镜（3）、柱面CGH（4）、精密电控旋转台（5）、精密三维位移台（6）、万向调节镜架（7）、待测柱面（8）、连接底板（9）、连接片（10）和连接杆（11）；干涉仪（2）、柱面CGH（4）和精密电控旋转台（5）均设置在气浮光学抗震平台（1）上；标准平面镜（3）设置在干涉仪（2）的出光口，使干涉仪（2）的出射波前为平面波，精密电控旋转台（5）顶部设有连接底板（9），精密三维位移台（6）固定在连接底板（9）顶部，万向调节镜架（7）通过连接片（10）与精密位移台（6）连接，待测柱面（8）通过连接杆（11）设置在万向调节镜架（7）上，干涉仪（2）、柱面CGH（4）和待测柱面（8）共光轴，精密电控旋转台（5）的中心位于所述光轴的正下方。
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