[发明专利]一种具有三维堆栈／壕沟复合结构的集成能量采集存储器

摘要

本发明公开了一种具有三维堆栈／壕沟复合结构的集成能量采集存储器，其将能量采集存储器集成在具有PN结的衬底上。其中，PN结的P型半导体区和N型半导体区分别连接有金属电极，作为能量采集器；在与PN结相反一面的衬底上，设置有三维堆栈/壕沟复合结构，作为能量存储器；所述复合结构具体为：在衬底上先设置三维壕沟结构，然后在具有壕沟结构的衬底上交替沉积金属层和介质层，形成多个并联的电容器，最后顶部为金属层并填满壕沟和覆盖住衬底表面，顶部金属层与底部金属层分别连接有金属电极。本发明的三维结构设计能提高存储器容量、降低成本、缩小体积；并且其制备工艺流程简单，能与低成本集成电路工艺兼容。

主权项

1.一种具有三维堆栈/壕沟复合结构的集成能量采集存储器，其特征在于，能量采集存储器集成在具有PN结的衬底上，其中，PN结的P型半导体区和N型半导体区分别连接有金属电极，作为能量采集器；在与PN结相反一面的衬底上，设置有三维堆栈/壕沟复合结构，作为能量存储器；所述复合结构具体为：在衬底上先设置三维壕沟结构，然后在具有壕沟结构的衬底上交替沉积金属层和介质层，形成多个并联的电容器，最后顶部为金属层并填满壕沟和覆盖住衬底表面，顶部金属层与底部金属层分别连接有金属电极；所述能量采集器的表面或者能量存储器的表面或者这两个器件的表面上设有保护层，且金属电极凸出于保护层的表面；所述保护层表面还制备有射频能量采集天线；所述射频能量采集天线包括非闭合的钩状结构的射频能量采集单元，以采集光能量和/或射频能量，所述非闭合的钩状结构包括直线部分和钩子部分，其中直线部分的宽度小于钩子部分的宽度，钩子部分的开口面积小于闭合面积。