[发明专利]用于降低激光退火中的光束不稳定性的系统和方法

摘要

本发明涉及用于降低激光退火中的光束不稳定性的系统和方法。该方法包括：利用光束重定向元件引导调节激光束通过光圈中的开口；通过将所述光圈成像在所述半导体晶片的所述表面处，来在所述半导体晶片的所述表面上形成线图像，由此局部加热所述半导体晶片的所述表面，以形成退火温度分布；探测来自所述半导体晶片的局部加热表面的热发射；根据探测的热发射来确定所述退火温度分布；从所述退火温度分布来确定包括斜率的时变量的线图像强度分布曲线；以及调节所述光束重定向元件以重定向所述调节激光束，以减小或消除所述线图像强度分布曲线中的斜率的时变量。

主权项

1.一种在半导体晶片的表面的激光退火期间形成线图像的方法，所述方法包括：/n利用光束重定向元件引导在第一方向上的调节激光束通过光圈中的开口；/n通过使用所述调节激光束将所述光圈成像在所述表面上，来在所述半导体晶片的所述表面上形成线图像，由此局部加热所述表面以形成退火温度分布；/n探测来自该局部加热的晶片表面的热发射；/n根据探测到的热发射来确定所述退火温度分布；/n根据所述退火温度分布来确定包括斜率的时变量的线图像强度分布曲线；以及/n调节所述光束重定向元件以重定向所述调节激光束在第二方向上行进以通过所述光圈中的所述开口，以减小或消除所述线图像强度分布曲线中的斜率的时变量。/n