[发明专利]操作扫描探针显微镜的方法和装置有效
| 申请号： | 201510350667.9 | 申请日： | 2009-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104991089B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 胡焰;胡水清;苏全民 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 董敏;王艳江 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种改进的AFM成像模式300(峰力轻敲(PFT)模式)使用力作为可变反馈，以减小尖端‑样本相互作用力，同时保持能够由所有现有AFM操作模式获得的扫描速度。以改进的分辨率和高的样本产量获得样本成像和机械性能映射，其中，模式能够在包括气态的、流体的和真空的各种环境中工作。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 扫描 探针 显微镜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种操作扫描探针显微镜(SPM)的方法，包括：产生步骤—在探针与样本之间产生相对运动；检测步骤—检测所述探针的运动；确定步骤—从检测到的探针运动确定基于探针‑样本相互作用的探针偏转，所述探针偏转独立于寄生探针偏转，其中，所述寄生探针偏转由与所述SPM的操作相关联的背景导致，并且其中，所述确定步骤包括通过使用数字控制器从所述检测到的探针运动中减去所述背景；以及控制步骤—使用所述确定步骤和识别到的与所述相互作用相关联的瞬时力实时控制所述SPM；以及其中，所述探针‑样本相互作用的振幅小于所述寄生探针偏转的振幅。
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