[发明专利]钨钛管靶的制造方法有效
| 申请号： | 201510351156.9 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN106312071B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李力平 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16;B22F3/15;C22C27/04;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种钨钛管靶的制造方法，其中所述方法包括：提供钨、钛混合粉末和不锈钢；对所述钨、钛混合粉末和不锈钢进行冷等静压工艺，形成钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料；将所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料装入真空包套并对所述真空包抽真空后，对所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料进行热等静压工艺；去除所述真空包套，获得钨钛管靶。通过所述冷等静压工艺，使所述钨、钛混合粉末和不锈钢预成型化，形成半致密性的钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料，并使后续的热等静压工艺可以进行更好的致密；再通过热等静压工艺，向所述真空包套施加各向均等且全方位的气体压力，最终获得高致密度的、组织结构更均匀的半导体用钨钛管靶。 | ||
| 搜索关键词： | 钨钛管靶 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钨钛管靶的制造方法，其特征在于，包括：提供钨、钛混合粉末和不锈钢；对所述钨、钛混合粉末和所述不锈钢进行冷等静压工艺，形成钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料；所述冷等静压工艺的工艺温度为25℃至200℃，环境压强为150MPa至160MPa，在所述工艺温度和环境压强下的工艺时间为10分钟至30分钟；将所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料装入真空包套并对所述真空包套抽真空后，对所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料进行热等静压工艺，形成钨钛合金；去除所述真空包套，获得以所述钨钛合金为靶材、以所述不锈钢为背管的钨钛管靶；其中，所述提供钨、钛混合粉末的步骤包括：提供钨粉和钛粉；采用混粉机对钨、钛粉末进行机械混合；所述机械混合的混合时间为23小时至25小时，其中，将钨粉和钛粉用混粉机进行机械混合的过程中，向混粉机中加入介质球，所述介质球为钛球或钨球；所述介质球和所述钨、钛混合粉末的质量比为2.5：1至3.5：1。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510351156.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
