[发明专利]一种研究表面的多步方法及其对应设备有效
| 申请号： | 201510352841.3 | 申请日： | 2015-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN105277558B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多佛·格罗 | 申请（专利权）人： | 毕克-加特纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 高占元 |
| 地址： | 德国盖雷茨里*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种确定表面性质的多步方法，包括以下步骤：确定将要被研究的表面(10)的至少一个区域的至少一个表面形貌性质；确定将要被研究的表面(10)的至少该区域的光学性质，并且发出表征所述光学性质的至少一个值。根据本发明，当确定表征所述光学性质的所述至少一个值时，考虑所述区域的所述表面形貌性质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研究 表面 方法 及其 对应 设备 | ||
【主权项】：
一种确定表面性质的多步方法，包括以下步骤：确定将要被研究的表面(10)的至少一个区域的至少一个表面形貌性质；确定将要被研究的表面(10)的至少该区域的光学性质，并且发出表征所述光学性质的至少一个值；其特征在于，当确定表征所述光学性质的所述至少一个值时，考虑所述区域的所述表面形貌性质。
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