[发明专利]具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片有效
| 申请号： | 201510352953.9 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN104950137B | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘岩;王海;秦红波;谢永强 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 广东朗乾律师事务所44291 | 代理人： | 杨焕军 |
| 地址： | 710068*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片，包括传感器本体；应力隔离元件，应力隔离元件包括一对横向设置的隔离梁和设置于所述隔离梁之间的隔离框，所述隔离梁两端与所述传感器本体相连，所述隔离框通过连接部与所述隔离梁相连；敏感元件，敏感元件包括质量块和一对横向设置的挠性梁，所述挠性梁连接所述质量块和所述隔离框；压敏电阻，压敏电阻以所述质量块的中心为对称中心对称设置于所述质量块的两侧，且位于连接部的宽度范围内；设置于所述传感器本体上的金属焊盘，所述压敏电阻通过引线与所述金属焊盘相连。本发明的传感器芯片具有结构合理，封装工艺简单，稳定性高，便于大规模、低成本生产的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 应力 隔离 结构 横向 敏感 加速度 传感器 芯片 | ||
【主权项】：
具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片，其特征在于，包括：传感器本体，所述传感器本体中部设置通槽；设置于所述传感器本体通槽内的应力隔离元件，所述应力隔离元件包括一对横向设置的隔离梁和设置于所述隔离梁之间的隔离框，所述隔离梁相互平行且分别位于所述隔离框宽度方向上的两侧，所述隔离梁两端与所述传感器本体相连，所述隔离框通过连接部与所述隔离梁相连，所述连接部宽度方向的中心线与隔离框宽度方向的中心线重合；设置于所述隔离框内的敏感元件，所述敏感元件包括质量块和一对横向设置的挠性梁，所述挠性梁连接所述质量块和所述隔离框，所述质量块的横向中心线与所述挠性梁的横向中心线重合；设置于所述质量块和所述隔离框之间的压敏电阻，所述压敏电阻以所述质量块的中心为对称中心对称设置于所述质量块的两侧，且位于连接部的宽度范围内；设置于所述传感器本体上的金属焊盘，所述压敏电阻通过引线与所述金属焊盘相连。
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