[发明专利]一种连续性水平浸渍镀膜系统及方法

摘要

本发明属于镀膜技术领域，公开了一种连续性水平浸渍镀膜系统及方法。所述连续式水平浸渍镀膜系统包括机器人、机器人控制中心和循环滑轨，机器人与机器人控制中心信号连接，所述机器人滑动式设置在循环滑轨上，循环滑轨用于机器人循环滑动；所述机器人设有操作臂，所述操作臂前端设置数个用于吸附衬底基片的吸盘，机器人带动操作臂动作；循环滑轨侧旁设置有镀膜溶液槽和清洗槽。本发明将浸渍镀膜、清洗处理及干燥处理集成为一体，克服现有技术中工序不连贯、耗时长的缺陷，可实现任何面积浸渍镀膜的全自动、高稳定性生产，并且克服了垂直提拉浸渍在上、中、下区域出现严重均匀性偏差的缺陷，水平浸渍镀膜各点一致，具有优异的均匀性。

主权项

一种连续式水平浸渍镀膜系统，其特征在于：所述连续式水平浸渍镀膜系统包括机器人、机器人控制中心和循环滑轨，机器人与机器人控制中心信号连接，所述机器人滑动式设置在循环滑轨上，循环滑轨用于机器人循环滑动；所述机器人设有操作臂，所述操作臂前端设置数个用于吸附衬底基片的吸盘，机器人带动操作臂动作；循环滑轨侧旁设置有镀膜溶液槽和清洗槽；当所述连续式水平浸渍镀膜系统运行至镀膜处理步骤时，所述机器人控制中心控制操作臂翻转调整，使衬底基片的正面朝下，然后下降操作臂将衬底基片浸入镀膜溶液中，达到浸渍时间后，抬升操作臂将衬底基片抽离镀膜溶液。